Khảo sát hình thái bề mặt mẫu và cấu trúc

1. Hãng, tên nước: Jeol - Nhật Bản

2. Nơi lắp đặt: Phòng 210, nhà A12, Viện Kỹ thuật nhiệt đới, Viện Hàn lâm KH&CN 

3. Chức năng:

•  Khảo sát hình thái bề mặt mẫu và cấu trúc lớp mỏng dưới bề mặt trong điều kiện chân không
•  Phân tích thành phần hoá học của bề mặt khi kết hợp với EDX.